Разработка физических основ технологии и оборудования для обработки металлических и диэлектрических изделий в плазме газового разряда низкого давления (заключительный), этап 3

Цель работы – изучение формирования широких и сфокусированных пучков быстрых атомов с помощью погруженных в плазму плоских сеток и сеток с вогнутыми поверхностями, а также упрочнения поверхности подложек имплантацией быстрых атомов и осаждением твердых покрытий, бомбардируемых в процессе синтеза атомами с высокой энергией. За отчетный этап выполнения работы авторским коллективом разработана установка с вакуумной камерой, заполняемой однородной плазмой тлеющего разряда с электростатическим удержанием электронов. Внутри камеры на вводе высокого напряжения установлен держатель погружаемых в плазму плоских сеток, сеток с вогнутой поверхностью и сеток в виде набора плоскопараллельных пластин. На основе разряда с холодным полым катодом разработаны источники металлического пара для осаждения покрытий. Проведены исследования формирования пучков и осаждения покрытий с бомбардировкой быстрыми атомами. Область применения – изготовление медицинского оборудования, ответственных деталей и узлов авиационной и космической техники, нефтегазового комплекса и современных вооружений. В связи с этим установка с вакуумной камерой, позволяющей формировать в ней пучки быстрых нейтральных атомов для упрочнения поверхности изделий произвольной геометрической формы имплантацией и осаждением твердых покрытий, вполне соответствует современному состоянию и перспективам развития научно-технического комплекса страны. Применение результатов, полученных в настоящей работе, повысит эффективность процессов упрочнения поверхности изделий, надежность оборудования, производительность и конкурентоспособность продукции отечественного машиностроения. Полученные результаты будут использоваться в лекционных курсах и лабораторном практикуме двух дисциплин: «Плазменные технологии упрочнения поверхности потоками атомов и ускоренных частиц» и «Основы обработки материалов потоками частиц»