Исследование оксидных мезо- и наноструктур для разработки мультисенсорных систем

Цель: изучение методов изготовления газочувствительных материалов с характеристическими размерами в диапазоне до 100 нм для разработки новых газосенсорных элементов и систем на их основе. Будут развиты фундаментальные основы новых технологических подходов к изготовлению функциональных газосенсорных элементов и систем на их основе, что может позволить разработку сенсоров нового поколения с улучшенными характеристиками. Проведены исследования роста наноструктур из оксида кобальта при различных условиях в рамках электрохимического осаждения, выполнена характеризация физических свойств этих наноструктур аналитическими физическими методами. Рассмотрено формирование мультисенсорных чипов на основе развитых наноструктур из оксида кобальта с градиентно-различающейся морфологией и фазовой структурой в рамках электрохимического осаждения.