ИЗУЧЕНИЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК УГЛЕРОДНЫХ НАНОСТРУКТУР

Объектом исследования являются углеродные наноматериалы, способы их получения, исследование электрофизических характеристик, в том числе фоторезистивных и эмиссионных свойств.Целью работы является определение основных электрофизических параметров углеродных наноструктур для их последующего эффективного применения в различных микроэлектронных устройствах.В работе описаны используемые методы синтеза углеродных наноструктур, приведена конструкция автоэмиссионной структуры на основе углеродных наноструктурированных материалов (УНМ), технологический маршрут изготовления подобной структуры.Приведены исследования вольт-амперных характеристик структур с углеродными наноматериалами под воздействием излучения оптического и ближнего ИК диапазона, и эмиссионные измерения структур в высоковакуумном стенде, в том числе прошедших обработки в газовой среде непосредственно после синтеза.