Дизайн и направленный синтез с использованием ALD-технологий наноразмерных материалов для высокоемких аккумуляторов нового поколения (отчет заключительный, этап 3)

Цель данного этапа работы - выполнение исследований, связанных с возможностью использования метода атомно-слоевого осаждения (ALD-технология) для нанесения на подложки различной природы тонких пленок на основе LiFePO₄, LiMnCoO₂ и RuO₂. При выполнении задач проекта использовалась ALD-технология для получения тонких пленок литированного фосфата железа. С использование методов РЭМ и СЭМ, РФА и тeрмoгравимeтрии были получены данные об элементном составе фазовых состояний пленки и ее морфологии. С использованием ALD-технологии осуществлено направленное формирование тонких пленок заданной размерности на основе LiₓMnCoO₂ и LiₓFePO₄, получены корреляции размер - количество циклов/скорость роста пленки. С использованием ALD-технологии осуществлено нанесение на матрицу из карбида кремния оксида лития. Выявлены основные параметры и условия протекания процесса. С использованием ALD-технологии осуществлено нанесение оксида алюминия на подложку из органических биополимеров. С использование ALD-технологии осуществлено нанесение на подложку из тантала диоксида рутения. На основе данных, полученных с использованием квантово-механических расчетов, выявлены основные параметры, влияющие на процесс адсорбции на графеновых поверхностях органических молекул. С использованием ряда физико-химических методов подробно изучены фазовый состав и морфология пленки, полученной в результате синтеза с использованием метода ALD.