Разработка конструкции и моделирование чувствительных элементов МЭМС УС. Разработка эскизной конструкторской и технологической документации на чувствительные элементы МЭМС УС

Объектом разработки является конструкция чувствительного элемента микроэлектромеханического датчика угловой скорости. Цель работы: создание и оптимизация технологии плазменного травления для изготовления чувствительных микромеханических элементов сенсоров угловой скорости (МЭМС УС).Метод работы заключался в анализе уровня существующих разработок по тематике работы, разработке технологических решений и определении критических параметров технологии плазменного травления для создания МЭМС УС.Результаты работы: Проведены патентные исследования, модель чувствительного элемента МЭМС УС, исследование влияние различных технологических дефектов на МЭМС УС, рекомендации к обеспечению уровня технологических дефектов при изготовлении МЭМС УС заданного уровня точности, технологический маршрут для изготовления МЭМС УС, комплект эскизной конструкторской и технологической документации МЭМС УС, оценка полноты решения задачи и достижения поставленных целей НИР, технико-экономическая оценка полученных результатов, технические требования и предложения по разработке, производству и эксплуатации продукции с учетом технологических возможностей и особенностей индустриальных партнеров - организаций реального сектора экономики (АО «ЗНТЦ»).Разработан проект технического задания на проведение ОКР по теме: "Разработка опытно-промышленной технологии изготовления сенсоров угловой скорости".