ИКРБС
№ АААА-Б20-220052890032-7Обобщение результатов исследований преобразователей давления на основе тонкопленочных гетерогенных структур нанометрового размера
23.10.2018
Проведено обобщение результатов исследований преобразователей давления на основе тонкопленочных гетерогенных структур нанометрового размера. Разработана схема изготовления преобразователя давления, и описаны методы его создания.
ГРНТИ
89.25.43 Космическая технология и материаловедение
Ключевые слова
ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ГЕТЕРОГЕННЫЕ СТРУКТУРЫ НАНОМЕТРОВОГО РАЗМЕРА
АЛМАЗНЫЕ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
ТРАВЛЕНИЕ
РАБОЧИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Детали
Заказчик
Государственная корпорация по космической деятельности "Роскосмос"
Исполнитель
Государственный научный центр Российской Федерации - федеральное государственное унитарное предприятие "Исследовательский центр имени М.В.Келдыша"
Похожие документы
Моделирование работы прототипа чувствительного элемента сенсора давления на основе наноструктурированных мембран. Разработка технологического маршрута создания прототипа чувствительного элемента сенсора давления на основе наноструктурированных мембран. Моделирование процессов технологического маршрута создания прототипа чувствительного элемента сенсора давления на основе наноструктурированных мембран. Отработка отдельных операций технологического маршрута создания прототипа чувствительного элемента сенсора давления на основе наноструктурированных мембран.
0.903
ИКРБС
МЭМС ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ТЕХНОГЕННЫХ И ПРИРОДНЫХ ОБЪЕКТОВ
0.903
ИКРБС
Исследование и разработка тонкопленочных гетерогенных структур чувствительных элементов датчиков давлений с экстремальными условиями эксплуатации
0.896
Диссертация
МЭМС преобразователи для контроля параметров техногенных и природных объектов
0.894
НИОКТР
Разработка и исследование тепловых преобразователей на основе мембранной МЭМС-технологии для семейства датчиков физических величин
0.893
ИКРБС
Разработка чувствительного элемента сенсора давления на основе наноструктурированных мембран для применения в медицинской технике и газовом оборудовании
0.891
НИОКТР
Исследование научно-технических основ создания датчиков физических величин на основе мембранной МЭМС-технологии
0.891
ИКРБС
РАЗРАБОТКА ПРОТОТИПОВ ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ СЕНСОРНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НАНОКОМПОЗИТНЫХ ДИЭЛЕКТРИКОВ(заключительный)
0.891
ИКРБС
Полупроводниковый преобразователь давления с повышенной чувствительностью
0.887
РИД
Датчик быстропеременного и статического давления
0.887
РИД