Разработка, создание и исследование двухспектральных фоточувствительных гетероструктур и фотоприемников на их основе. Разработка методики формирования матрицы одиночных элементов (пикселей) с характерным размером периода не более 15 мкм методом плазмохимического травления

Разработаны, изготовлены и исследованы экспериментальные образцы многоэлементных фотоприемников с разным размером одиночного элемента, ЭКД и фотошаблоны для их получения. Разработаны конструкция и методики получения двухспектральных фоточувствительных гетероструктур и фотоприемников на их основе, включающие, в том числе: ЭКД на эпитаксиальные гетероструктуры, фотошаблоны и подкристальные плат. Достигнутые результаты привели к: разработке и созданию двухспектральных одиночных фотоприемников; разработке и созданию матричного фотоприемника с характерным размером одиночного элемента до 10 мкм, что является необходимой составляющей разработки технологии создания фотоприемников большой размерности для спектральных областей 2.5-3.5; 2.5-4.5; 2.5-5.5 мкм на основе диодных гетероструктур из InAs и твердых растворов InAsSbP.