Разработка перспективных однокристальных передающих СВЧ модулей миллиметрового диапазона на основе полупроводников типа A³B⁵ для применения в современных информационно-коммуникационных системах нового поколения (5G) по теме: экспериментальные исследования поставленных перед ПНИ задач. Обобщение и оценка результатов исследований

Объектом исследования являются монолитные интегральные схемы однокристального передающего СВЧ электронного модуля (ЭМ)Цель работы –разработка комплекса новых схемотехнических, конструктивных и технологических решений создания современных СВЧ электронныхкомпонентов, включающих бескорпусные монолитные интегральные схемы для перспективных однокристальных передающих модулей, работающих в различных поддиапазонах миллиметрового диапазона длин волн для применения в современных информационно-коммуникационных системах нового поколения(5G).Достигнуты следующие основные результаты:Произведена разработка технологического маршрута изготовления передающего СВЧ ЭМна основе гетеростурктур GaAs.Разработан комплект эскизной технологической документации на технологический процесс изготовления передающего СВЧ ЭМ.Проведена разработка эпитаксиальных гетероструктур на основе полупроводников типа A3B5для создания передающего СВЧ ЭМ.Изготовлены макеты передающего СВЧ ЭМ.Проведен комплекс экспериментальных работ по исследованию воспроизводимости параметров однокристальных передающих СВЧ ЭМ, а также исследованию процента выхода годных кристаллов, изготовленных на полупроводниковых пластинах диаметром 100 мм.-Разработаны технические требований и предложений по разработке, производству и эксплуатации однокристальных передающих СВЧ ЭМ с учетом технологических возможностей и особенностей индустриального партнера.-Произведена разработка эскизной конструкторской документации на изготовление передающего СВЧ ЭМ.-Проведены дополнительныепатентныеисследованияпо ГОСТ 15.011 –96.-Произведена разработка проекта технического задания на проведение ОКР по теме: «Разработка перспективных однокристальных передающих СВЧ модулей миллиметрового диапазона на основе полупроводников типа A3B5для применения в современных информационно-коммуникационных системах нового поколения (5G)».-Разработанапрограммаи методики лабораторных испытаний технических характеристик макетов передающих СВЧ ЭМ.-Проведены лабораторные испытания технических характеристик макетов передающих СВЧ ЭМ.-Проведены маркетинговые исследования рынка однокристальных передающих СВЧ модулей миллиметрового диапазона.-Разработаны схемотехнические решенияи топологиив части создания передающего СВЧ ЭМ.-Проведено обобщение и сделаны выводы по результатам исследований.