Исследование влияния легирования и микроструктурных характеристик на магнитные свойства сплавов Fe-Cu-M-Si-B (M=Nb, W, NbMo) в тонкопленочном состоянии

Тонкие пленки магнитомягких сплавов находят широкое практические применение, например, в качестве функциональных сред для сенсоров. Для таких пленок сохраняет актуальность исследование влияния их структуры на магнитные свойства, что является целью данного Проекта. В ходе работы методом высокочастотного ионно-плазменного напыления были синтезированы тонкие пленки сплавов Fe-M-Cu-Si-B (M=Nb, W, NbMo). Структурное состояние пленок изменялось путем термомагнитной обработки. В результате исследований показано, что температура Кюри аморфной фазы в исследуемых пленках ниже, чем в лентах, и может варьироваться в зависимости от состава. Кристаллизация в пленках начинается при температуре 420°С, что заметно меньше, чем в быстрозакаленных лентах сплавов аналогичных составов, и характеризуется резким ростом зерен до размеров 16 и 20 нм соответственно для пленок сплавов FeNbCuSiB и FeNbMoCuSiB. С уменьшением толщины пленки наблюдалась задержка начала кристаллизации. Проведено исследование магнитных свойств пленок. Получены характеристики гистерезисных свойств пленок в зависимости от их состава, толщины и структурного состояния. Показано, что кристаллизация приводит к резкому возрастанию коэрцитивной силы пленок вне зависимости от их толщины и, как следствие, ухудшению магнитомягких свойств. Наилучшие магнитные свойства пленок реализуются после термообработки при 350°С, в результате которой происходит релаксация имеющихся в полученных пленках напряжений, и до начала процесса кристаллизации