»

Базы данных научно-технической информации

»

ИКРБС: Загрузка...

ИКРБС

№ 221052400085-1

Функциональные материалы, наноматериалы и технологии по теме: Исследование процесса химического осаждения тонкопленочных материалов на основе диоксида ванадия (заключительный)

20.12.2020

Данная работа направлена на исследование процесса получения тонких пленок диоксида ванадия методом химического осаждения из газовой фазы на реакторе с планетарным движением подложек и ионно-плазменным источником. Увеличение размеров реактора и переход к планетарному перемещению подложек требует определения оптимальных условий осаждения, а также выявление лучшего прекурсора для получения равномерных по толщине, фазовому составу и электрофизическим свойствам пленок.

ГРНТИ

31.17.29 Комплексные соединения

31.17.15 Неорганическая химия

Ключевые слова

химическое газофазное осаждение

тонкие пленки

диоксид ванадия

планетарный реактор

Детали

НИОКТР

№ АААА-А19-119121890112-4

Заказчик

Общество с ограниченной ответственностью "ОКСИФИЛМ"

Исполнитель

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова"

Бюджет

Средства хозяйствующих субъектов: 200 000 ₽

Похожие документы

Исследование процесса химического осаждения тонкопленочных материалов на основе диоксида ванадия

Исследование методов получения образцов тонкопленочных материалов на основе диоксида ванадия методом химического газофазного осаждения, анализ полученных образцов

Функциональные материалы, наноматериалы и технологии по теме: Фундаментальные основы сольвотермального метода синтеза эпитаксиальных пленок диоксида ванадия с переходом диэлектрик-металл (заключительный)

Разработка метода пирогидролитического осаждения диоксида ванадия из прекурсоров бета-дикетонатов ванадила

Фундаментальные основы сольвотермального метода синтеза эпитаксиальных пленок диоксида ванадия с переходом диэлектрик-металл

Способ получения тонких пленок диоксида ванадия, легированного вольфрамом

Создание технологии изготовления оптических материалов на основе диоксида ванадия размером до трёх дюймов

Методы и технологии выращивания высококачественных пленок

Разработка технологии изготовления материалов на основе диоксида ванадия размером до трех дюймов

Доработка технологии осаждения пленок диоксида ванадия различной плотности покрытия и толщины методом гидротермальной обработки и последующей термообработки. Исследование состава, структуры и свойств полученных покрытий VO2. Анализ электрических и тестирование оптических свойств(в диапазоне ТГц излучения) полученных покрытий. Разработка оптимальной архитектуры одиночного неохлаждаемого элемента на основе диоксида ванадия с помощью математического моделирования. (промежуточный)