Разработка топологии чувствительного элемента датчика. Изготовление фотолитографических масок на полиимидной основе для получения структурированных покрытий из термоэлектрических металлов и сплавов с целью формирования топологии чувствительных элементов датчиков. Получение первого функционального слоя покрытия чувствительного элемента датчика (структурированного покрытия). Получение второго функционального слоя покрытия чувствительного элемента датчика (структурированного покрытия). Разработка эскизной конструкторской документации на датчик температуры.

Цель работы – разработка технологии изготовления серийных образцов тонкопленочных термоэлектрических генераторов (ТТЭГ) и изготовление прототипов чувствительных элементов пассивных датчиков на основе гибкого тонкопленочного термоэлектрического генератора для измерения перепадов температур и освещенности. Результаты работы – отработана технология изготовления прототипов тонкопленочных термоэлектрических генераторов для измерения перепадов температур и освещенности, изготовлены макеты чувствительных элементов датчиков и проверена их целостность. В результате работ в рамках первого этапа НИОКР исходная технология напыления ТТЭГ была адаптирована под серийное изготовление. Получены прототипы тонкопленочных термоэлектрических генераторов. Данные прототипы были проверены на целостность с помощью оптической микроскопии и измерения сопротивления элемента. В ходе работ были обнаружены проблемы с сохранением целостности прототипов при отделении их от жесткой основы, наличие которой обусловлено требованиями технологии фотолитографии. В связи с этим предварительная технология производства серийных образцов была значительно изменена. Итоговая технология позволила получить рабочие образцы с толщиной дорожки и шагом 0,5 мм и 0,2 мм. Несмотря на то, что в процессе работы возникли проблемы при отладке технологии, все поставленные задачи этапа были решены.