Разработка и создание высокопроизводительной опытно-промышленной технологии получения ВТСП слоя Y(Gd)BaCuO с высокой токонесущей способностью методом направленной кристаллизации аморфных покрытий (этап 3, заключительный)

Объектом исследований являлся новый способ проведения технологической операции нанесения ВТСП слоя в процессе производства ВТСП ленточных проводников – путем совместного напыления на металлических подложках с нанесенным на них буферным слоем аморфного слоя компонентов R-Ba-Cu-O с его последующей кристаллизацией и формированием текстурированного слоя ВТСП соединения R-123. В качестве основного соединения для исследований выбран Gd-123. Формирование ВТСП слоя является ключевой операцией в производстве ВТСП-2, определяющей скорость производства ВТСП и, соответственно его стоимость. Цель работы – разработка готовой к масштабированию технологии для экономически эффективного промышленного производства ВТСП-2. В результате работы заключительного этапа были впервые в РФ предложены и разработаны методы и режимы напыления аморфных покрытий Gd-Ba-Cu-O из металлических мишеней как чистых компонентов– Gd, Cu, так и из сплава Ba-Cu,а также из керамических мишеней Gd-Ba-Cu-O различных составов. Изготовлены экспериментальные образцы и проведены их исследования с помощью РФА и СЭМ. Выявлены зависимости химического и фазового состава пленок от режимов напыления и состава мишеней.