Многослойные структуры на основе сегнетоэлектрических пленок цирконатов-титанатов и станнатов-титанатов бария для сверхвысокочастотных применений

Объект - пленки твердых растворов титаната-цирконата и титаната-станната бария ; Цель - исследование физических процессов, определяющих характеристики потоков компонентов, приходящих на подложку в процессе осаждения пленок; Метод - ионно-плазменное осаждение, рентгеноструктурный анализ, электрофизические измерения; Экспериментально исследованы начальные стадии роста пленок твердых растворов титаната-цирконата и титаната-станната бария на монокристаллическом сапфире. Проведено экспериментальное исследование структурных свойств тонких пленок твердых растворов титанатов-цирконатов и титанатов-станнатов бария, осажденных методом ионно-плазменного распыления на проводящие и диэлектрические подложки. Впервые исследованы процессы медленной релаксации емкости под действием управляющего напряжения и нелинейного отклика сегнетоэлектрических структур на сигнал высокого уровня мощности. Продемонстрирована возможность работы полученных емкостных структур в малосигнальных цепях с быстрым переключением при масштабах медленной релаксации 10%.