ГЕНЕРАЦИЯ ПУЧКОВ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ И ПОТОКОВ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ НА ОСНОВЕ ДУГОВОГО И ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДОВ, В ТОМ ЧИСЛЕ В ЭКСТРЕМАЛЬНЫХ УСЛОВИЯХ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ, ДЛЯ ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОЙ МОДИФИКАЦИИ МАТЕРИАЛОВ

Отчёт 141 с., 1 кн., 85 рис., 22 табл., 85 источников, 1 прил. ИМПУЛЬСНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ ПУЧОК, ИОНЫ БОРА, ВАКУУМНЫЙ ДУГОВОЙ РАЗРЯД, ВАКУУМНЫЙ МАГНЕТРОН, РАЗРЯД АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ, ВНЕШНЯЯ ИНЖЕКЦИЯ ЭЛЕКТРОНОВ, НИТРИДНЫЕ ПОКРЫТИЯ, АДГЕЗИОННАЯ ПРОЧНОСТЬ, БЕЗВОДОРОДНОЕ АЗОТИРОВАНИЕ, СИЛЬНОТОЧНОЕ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ Объектами исследований являются разрядные системы, генерирующие плазму в вакуумном дуговом разряде, дуговых и тлеющих разрядах низкого давления, а также при атмосферном давлении, для исследования процессов их функционирования и эмиссии заряженных и нейтральных частиц. Основной целью работы является исследование процессов генерации пучков заряженных частиц и потоков низкотемпературной плазмы на основе дугового и тлеющего разрядов, в том числе в экстремальных условиях функционирования, для пучково-плазменной модификации материалов. Методами исследований являются физический эксперимент с применением современных источников питания и приборов диагностики, а также традиционных и уникальных методов исследования поверхности. В процессе выполнения работы получены важные научные результаты фундаментального значения, которые также обладают высоким потенциалом практического применения. Результаты исследований представлены в 31 публикации, в том числе в 18 статьях в периодических научных изданиях и 13 полнотекстовых докладах в трудах международных конференций. Практически все представленные публикации по отчетному периоду индексируется в базе данных Web of Science и Scopus (из них 11 статей опубликованы в журналах первого и второго квартилей). Результаты исследований докладывались и обсуждались на 15th International Conference Gas Discharge Plasmas and Their Applications, Ekaterinburg, Russia, 5-10 September 2021; 29th International Symposium on Discharge and Electrical Insulation in Vacuum (ISDEIV), Padova, Italy, Sept. 26 – 30, 2021.