Исследование механизмов управления свойствами углеродных наноструктур

Отчет содержит: 181 страница, 93 рисунка, 16 таблиц, 267 источников. Ключевые слова: углеродные нанотрубки, синтез, комбинационное рассеяние света, ренгеновская фотоэлектронная спектроскопия, ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия, атомно-слоевое осаждение, нитрид титана, оксид ситана, вакансии. Объектом исследования являются оксидные и нитридные материалы, которые применяются в углеродной наоэлектронике. Целью работы является разработка фундаментальных моделей формирования оксидных и нитридных материалов на примере соединений титана. Методы осуществления работы. В работе применяются методы научного анализа, моделирования, теоретических расчетов, экспериментального исследования наноструктур методами рентгеновского, электронно-зондового и Оже-анализа. В процессе выполнения НИР получены следующие результаты: 1. Проведено исследование формирования нитрида титана методои атомно-слоевого осаждения с особо гладкой поверхностью для никелевого катализатора роста углеродных нанотрубок. 2. Проведен анализ научной литературы по оксиду титана. 3. Выполнены эксперименты, разработана термодинамическая модель синтеза оксида титана методом магнетронного осаждения и технология управления составом пленки путем изменения потока кислорода в реакторе. 4. Проведены эксперименты, разработана кинетическая модель на основании уравнений Смолуховского, направленная на совершенствование структуры оксида титана в процессе отжига в атомосфере кислорода.