Разработка и испытания прототипов пассивных термодатчиков на основе гибкого тонкопленочного термоэлектрического генератора для измерения перепадов температур и освещенности

Цель работы – разработка технологии изготовления серийных образцов тонкопленочных термоэлектрических генераторов (ТТЭГ) и изготовление прототипов чувствительных элементов пассивных датчиков на основе гибкого тонкопленочного термоэлектрического генератора для измерения перепадов температур и освещенности. Результаты работы – отработана технология изготовления прототипов тонкопленочных термоэлектрических генераторов для измерения перепадов температур и освещенности, изготовлены макеты чувствительных элементов датчиков и проверена их целостность, изготовлены и испытаны прототипы датчиков температуры и освещенности. В результате работ в рамках первого этапа НИОКР исходная технология напыления ТТЭГ была адаптирована под серийное изготовление. Получены прототипы тонкопленочных термоэлектрических генераторов. Данные прототипы были проверены на целостность с помощью оптической микроскопии и измерения сопротивления элемента. В ходе работ были обнаружены проблемы с сохранением целостности прототипов при отделении их от жесткой основы, наличие которой обусловлено требованиями технологии фотолитографии. В связи с этим предварительная технология производства серийных образцов была значительно изменена. Итоговая технология позволила получить рабочие образцы с толщиной дорожки и шагом 0,5 мм и 0,2 мм. В рамках второго этапа НИОКР технология отделения элементов была доработана и стала менее трудоемкой, доля брака была дополнительно снижена. Были изготовлены прототипы датчиков температуры и освещенности. В ходе испытаний подтверждена работоспособность датчика температуры, в то время как датчик освещенности в существующем исполнении был признан непрактичным.