ИКРБС
№ 222051300017-5

Электронно-лучевой синтез магнитодиэлектрических покрытий на основе керамик и ферритов с использованием форвакуумного плазменного источника электронов (2-ой этап) (промежуточный)

20.04.2022

С использованием форвакуумного плазменного источника электронов в диапазоне давлений 1-10 Па при последовательном электронно-лучевом испарении мишеней из алюмооксидной керамики и феррита осуществлен синтез магнитодиэлектрических покрытий. Отлажена методика измерений магнитных свойств осажденных покрытий и исследованы основные характеристики. Измерены скорости нанесения покрытий в зависимости от параметров электронного пучка.
ГРНТИ
29.27.23 Пучки в плазме
Ключевые слова
форвакуумный плазменный источник электронов
феррит
диэлектрик
средний вакуум
электронный пучок
Магнитодиэлектрические покрытия
Детали

Заказчик
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "РОССИЙСКИЙ ФОНД ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ"
Исполнитель
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники"
Бюджет
Средства фондов поддержки научной и (или) научно-технической деятельности: 1 200 000 ₽
Похожие документы
Электронно-лучевой синтез магнитодиэлектрических покрытий на основе керамик и ферритов с использованием форвакуумного плазменного источника электронов. (Промежуточный, 1 этап)
0.957
ИКРБС
Фундаментальные основы создания металлокерамических покрытий методом электронно-лучевого испарения в форвакууме (промежуточный 2016)
0.929
ИКРБС
Электронно-лучевой синтез магнитодиэлектрических покрытий на основе керамик и ферритов с использованием форвакуумного плазменного источника электронов.
0.926
НИОКТР
Электронно-лучевой синтез магнитодиэлектрических покрытий на основе керамик и ферритов с использованием форвакуумного плазменного источника электронов.
0.926
НИОКТР
Электронно-лучевое нанесение теплопроводящих керамических покрытий для устройств микроэлектроники (промежуточный 2018)
0.925
ИКРБС
Фундаментальные основы создания металлокерамических покрытий методом электронно-лучевого испарения в форвакууме (промежуточный 2017)
0.922
ИКРБС
Электронно-лучевой синтез многослойных покрытий на основе керамики и металла форвакуумным плазменным источником электронов
0.917
НИОКТР
Формирование электроизоляционных покрытий на проводящих поверхностях электронно-лучевым методом
0.914
ИКРБС
Фундаментальные основы создания металлокерамических покрытий методом электронно-лучевого испарения в форвакууме (Итоговый 2018)
0.912
ИКРБС
Разработка на основе применения газоразрядной плазмы и импульсных пучков высокоэнергетических молекул газа комплекса технологий и оборудования для синтеза на поверхности изделий покрытий из нитрида и оксида алюминия, оксида титана и других диэлектрических материалов с улучшенным спектром свойств (промежуточный). Этап 1
0.910
ИКРБС