Проведение технологических процессов ионно-плазменного нанесения пленок титаната бария-стронция на различные диэлектрические подложки для создания фазовращательных структур. Проведение технологических процессов ионно-плазменного нанесения пленок титаната стронция для создания фильтровых структур. Анализ состава (стехиометрии) и структуры полученных пленок. Измерения СВЧ электродинамических параметров пленочных структур. Моделирование и разработка конструкции СВЧ фазовращателя. Моделирование и разработка конструкции СВЧ фильтра.

В отчете представлены результаты исследований, выполненных в рамках первого этапа по контракту №22ГТС2РЭС14/48803 от 24.12.2021 между Федеральным государственным бюджетным учреждением «Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере» и ООО «Инзарус» на выполнение научных-исследовательских и опытно-конструкторских работ (НИОКР) по теме «Разработка технологических процессов и конструкций, а также изготовление опытных серий СВЧ устройств на основе многослойных тонкопленочных структур с нелинейными диэлектриками». Целью проекта является создание нового класса СВЧ устройств управления на основе нелинейных электрических и акустических свойств сегнетоэлектриков перовскитного типа (титанат бария-стронция и титанат стронция). Достижение поставленной цели приведет к созданию новых управляемых СВЧ устройств с улучшенными (по сравнению с существующими аналогами) техническими характеристиками: увеличенной рабочей мощностью и более эффективной перестройкой под управляющим воздействием. Подобные устройства позволят создавать радарные системы с улучшенной разрешающей способностью (в том числе для использования в беспилотном транспорте) и адаптивные приемо-передающие модули для увеличения скорости передачи информации, что, в конечном итоге, обеспечит создание и развитие интеллектуальных транспортных и телекоммуникационных систем. Успешная коммерциализация разработанной радиоэлектронной компонентной базы будет обусловлена последними достижениями в области технологий беспроводной связи 5G. При выполнении первого этапа НИОКР получены следующие результаты: проведены технологические процессы ионно-плазменного нанесения пленок титаната бария-стронция на различные диэлектрические подложки для создания фазовращательных структур; проведены технологические процессы ионно-плазменного нанесения пленок титаната стронция для создания фильтровых структур; проведен анализ состава (стехиометрии) и структуры полученных пленок; проведены измерения СВЧ электродинамических параметров пленочных структур; проведено моделирование и разработана конструкция СВЧ фазовращателя; проведено моделирование и разработана конструкция СВЧ фильтра.