РАЗРАБОТКА ПОДХОДА К ИЗУЧЕНИЮ ПРОТЯЖЕННОСТИ И СТРОЕНИЯ ИНТЕРФЕЙСОВ В МНОГОСЛОЙНЫХ РЕНТГЕНОВСКИХ ЗЕРКАЛАХ НА ОСНОВЕ РЕНТГЕНОВСКОЙ ФОТОЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ ВЫСОКИХ ЭНЕРГИИ (заключительный)

Проект направлен на решение фундаментальной проблемы физики, химии и научного материаловедения, связанной с развитием нового подхода к диагностике протяженности и строения межслоевых областей многослойных рентгеновских зеркал на основе рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии высоких энергий (РФЭСВЭ) с целью контроля и управления отражательной способностью и селективностью многослойных зеркал, и установления способов достижения оптимальных значений рабочих параметров (пикового коэффициента отражения и ширины брэгговского пика на полувысоте) многослойных структур. В результате выполнения проекта будут: 1) отработана методика расчета профилей атомных концентраций с применением данных, полученных методом РФЭСВЭ; 2) определены химический состав и протяженность межслоевой области, образующейся в результате взаимодействия слоев в МРЗ; 3) определено влияние введения тонких буферных слоев и изменения условий синтеза на состав и протяженность интерфейсов; 4) разработана методика раздельного определения параметров, отвечающих за перемешивание слоев (химическая реакция и взаимодиффузия) и шероховатость слоев, что позволит находить способы целенаправленной борьбы с неидеальностью границ раздела и упростит создание эффективных МРЗ с коэффициентами отражения, максимально близкими к теоретическим. Разработка предлагаемой методики изучения строения и протяженности межслоевых областей позволит получить оптимальные МРЗ с наибольшим коэффициентом отражения на основе слоев Mo/Si (путем введения буферного слоя Be или B4C) для работы на длине волны 13.5 нм и МРЗ на основе слоев Mo/Be (путем побора соответствующих условий отжига) для работы на длине волны 11.3 нм, а также определить оптимальные условия синтеза и необходимость введения тонких буферных слоев МРЗ на основе слоев Ru/Sr и Ru/PB для работы на длине волны 10 нм.