Этап №1 "Разработка установки одностадийного аддитивного формирования барьерных контактов методами ALD/CVD с лазерной импульсной локальной активацией на поверхности подложек. Отработка на прототипе методики формирования островковых пленок металлов на различных подложках. Подготовка комплектов эскизной конструкторской и технологической документации. Проектирование полупроводниковой структуры. Проведение литографических операций и подбор режимов по формированию омических контактов. Отработка режимов осаждения толстых пленок диэлектрика Si3N4 плазмохимическим методом. Отработка режимов и проведение литографичеких операций по формированию межсоединений на изолирующем диэлектрике. Исследование морфологии поверхности и стехиометрии состава пленок традиционными методами, измерение их электрофизических характеристик." (промежуточный)

Объектом исследования являются конструкция и методы формирования электронных детекторов сигналов с частотой модуляции не менее 1 ТГц. Цель работы – разработка, изготовление и испытания прототипов электронных детекторов сигналов с частотой модуляции не менее 1 ТГц на принципах использования сверхбыстродействующих неохлаждаемых диодов Шоттки и низкотемпературной технологии аддитивного формирования этих диодных структур методами ALD/CVD с лазерной импульсной локальной активацией. В результате выполнения 1 этапа НИР разработана экспериментальная лазерная технологическая установка, на её прототипе отработаны процессы формирования островковых плёнок металлов методами ALD/CVD с лазерной импульсной локальной активацией на различных подложках. Также подготовлен комплект эскизной конструкторской и технологической документации стадии разработки «Техническое предложение», спроектирована полупроводниковая структура электронного детектора. Отработаны режимы и проведены литографические операции по формированию омических контактов и межсоединений на изолирующем диэлектрике, осаждению толстых плёнок диэлектрика Si3N4 плазмохимическим методом. Также проведено исследование морфологии поверхности и стехиометрии состава плёнок, измерены их электрофизические характеристики. Результаты планируется использовать на последующих этапах НИР.