“СОЗДАНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ДАТЧИКА ТЕПЛОВОГО ПОТОКА ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЯ В СОСТАВЕ СИСТЕМ ТЕПЛОСНАБЖЕНИЯ И В ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ ПРОМЫШЛЕННОМ ОБОРУДОВАНИИ, А ТАКЖЕ В СИСТЕМАХ "УМНЫЙ ДОМ"” Этап 1 (промежуточный)

РЕФЕРАТ Отчет 55 с., 28 рис., 8 табл., 7 источников. ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ, ФОТОЛИТОГРАФИЯ, МАГНЕТРОННОЕ НАПЫЛЕНИЕ, ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОИЗОЛЯЦИЯ Объектом разработки является технология создания тонкопленочного термоэлектрического датчика теплового потока. Целью НИОКР является разработка тестовой структуры и отработка технологических операций формирования тонкопленочных термоэлектрических покрытий, шин разводки, тонкопленочной электроизоляции. В результате проведенной работы определены технологические режимы формирования термоэлектрических покрытий, алюминиевых шин разводки, тонкопленочной электроизоляции, разработан комплект фотошаблонов для взрывной литографии термоэлектрических покрытий.