Исследование тепловых свойств тонкопленочных структур на основе висмута и сурьмы

С помощью созданных компьютерных моделей процесса измерения тепловых свойств методами лазерной вспышки и 3-омега была проведена оценка влияния дополнительных покрытий на результаты измерений. Установлено, что нанесение дополнительных покрытий увеличивают неопределенность измерения до 50 % для измерения теплопроводности прямым методом лазерной вспышки и 3-омега методом, для модифицированного метода лазерной вспышки неопределенность измерения температуропроводности не превышает 7 %. Проведенный эксперимент методом лазерной вспышки показал, что при исследовании образцов толщиной менее 50 мкм прибор не успевает зафиксировать сигнал, полученный с образца. С другой стороны, с помощью моделирования была показана возможность использование дополнительных металлических подложек, которые значительно увеличивают время измерения, и позволяют провести измерения тонких образцов. Данные о неопределенности измерения тонких образцов могут использоваться для анализа корректности полученных результатов. Результаты моделирования измерения тепловых свойств двухслойных и трехслойных структур, могут быть в дальнейшем использованы для усовершенствования технологии измерения тонкопленочных термоэлектрических материалов.