ИССЛЕДОВАНИЕ И РАЗРАБОТКА СПОСОБОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ВОЛНОВОДОВ И ЭЛЕМЕНТОВ НА ИХ ОСНОВЕ

Объектом исследования являются интегрально оптические волноводы и элементы ввода оптического излучения на основе тонкопленочных структур. Целью исследования на данном этапе являлось исследование и разработка конструкций оптических волноводов и элементов ввода оптического излучения на основе тонкопленочных структур. Задачи исследования на данном этапе выполнения проекта включали: - исследование конструкций интегрально-оптических волноводов; - разработку конструкции оптических волноводов на основе тонких пленок Si3N4/SiO2 и их моделей; - анализ методов изготовления и разработку технологии изготовления оптических тонкопленочных волноводов. Предложены конфигурации и требуемые характеристики пассивных элементов, производство которых интересно в целях апробации разрабатываемой технологии. Обозначены задачи численного моделирования для оптимизации структур на базе интегральных оптических волноводов. Обозначены ссылки на методики исследования интегральных оптических волноводов и пассивных элементов на их основе. Получены результаты моделирования конструкций оптических волноводов и элементов ввода/вывода на основе тонких пленок Si3N4/SiO2. Для проведения дальнейших экспериментальных исследований и верификации разработанных моделей предложена к разработке вакуумная установка RF/DС магнетронного напыления для получения пленок ниобата лития с требуемыми характеристиками, а также напыления дополнительных слоев различных функциональных пленок (изоляторы, проводящие слои и т.д.) в едином процессе.