ОТЧЕТ о выполнении НИОКР по теме "Разработка высокоточного датчика магнитного поля" (договор №38ГТС1РЭС14/72447 от 25.12.2021.) Этап №2 "Уточняющий расчет электрофизических и геометрических параметров сенсора магнитного поля для датчика, по результатам проведенных исследований. Исследование доработанного материального макета сенсора магнитного поля для датчика. Доработка технологии получения тонких аморфных пленок ферромагнетика CoFeB (CoFeSiB). Изготовление сенсора магнитного поля на основе тонких пленок аморфного ферромагнетика CoFeB (CoFeSiB)" (промежуточный)

Отчет 87 с., 62 рис., 3 табл., 9 источника, прил. 3 МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЙ ДАТЧИК, МАГНИТОИМПЕДАНСНЫЙ ЭФФЕКТ, АМОРФНЫЙ ФЕРРОМАГНЕТИК, ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МАГНИТНЫЕ СТРУКТУРЫ, ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДАТЧИКА МАГНИТНОГО ПОЛЯ (СЕНСОР), КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ, МИКРОМАГНЕТИЗМ, СПИНОВАЯ ДИНАМИКА, МАГНИТНОЕ ПОЛЕ, ПЕРЕМАГНИЧИВАНИЕ Объектом работ на этапе № 2 НИОКР является сенсор магнитного поля на основе тонких пленок аморфного ферромагнетика CoFeB (CoFeSiB), предназначенный для применения на последующих этапах в разрабатываемом датчике магнитного поля. Целью выполнения работ за отчетный период является проведение уточняющих теоретических расчётов, доработка материального макета сенсора магнитного, доработка технологии получения тонких аморфных пленок ферромагнетика и изготовление сенсора магнитного поля. Для реализации данной цели проводится уточ-няющий теоретический расчёт электрофизических и геометрических параметров сенсора магнитного поля. Главная его особенность состоит в применении комплексного мультифизического подхода, выраженного в вычислении распределения поля Эрстеда вокруг токонесущей шины в связке с моделированием микромагнит-ной динамики аморфных ферромагнитных пленок в присутствии постоянной и переменной компоненты магнитного поля, что необходимо для определения выходного напряжения, генерируемого сенсором в считывающей катушке. Уточнение физико-математической модели сенсора магнитного поля включает в себя учет реальных геометрических и магнитных параметров сенсора. Доработка отечественной технологии получения тонких аморфных пленок ферромагнетика нанометровой толщины для сенсора с заданными свойствами, доработка и исследование доработанного материального макета, и определение их целесообразности применения в дальнейшем при разработке сенсора и датчика. В ходе выполнения этапа № 2 НИОКР в рамках гранта № 38ГТС1РЭС14/72447 от 25.12.2021 был выполнен следующий перечень работ: - проведен уточняющий расчёт электрофизических и геометрических параметров сенсора магнитного поля для датчика; - доработана технология получения тонких аморфных пленок ферромагнети-ка CoFeB (CoFeSiB); - проведено исследование доработанного материального макета сенсора магнитного поля для датчика. - изготовлены сенсоры на основе тонких пленок аморфного ферромагнетика CoFeB (CoFeSiB); Работы выполнены своевременно и в полном объеме. Результаты работ полностью отвечают требованиям Технического задания и Календарного плана.