Разработка технологии получения жаропрочных и химически стойких карбидокремниевых материалов с минимальным содержанием свободного кремния с применением лазерного химического газофазного осаждения. Этап 2022 года (Заключительный)

Объектом исследования являются жаропрочные и химически стойкие карбидокремниевые материалы с минимальным содержанием свободного кремния, полученные на макете установки лазерного химического газофазного осаждения. Цель работы: разработка технологии и оборудования лазерного химического газофазного осаждения для получения материалов на основе стехиометрического карбида кремния. Методология работы основана на установлении общности и различий технологических решений получения карбидокремниевых материалов с минимальным содержанием свободного кремния с применением лазерного химического газофазного осаждения для устройств атомной энергетики, а также анализа механических и физико-химических свойств материалов. Основные результаты работы: разработан эскизный проект на установку L-CVD; разработана лабораторная технологическая инструкция получения материала для изготовления целевых изделий на основе SiC; изготовлен макет установки L-CVD и проведены его испытания; получены образцы покрытия из карбида кремния на макете установки L-CVD и исследованы свойства полученного SiC покрытия. Новизна работ: все экспериментальные результаты по керамическим системам и макету установки L-CVD в РФ получены впервые. Область применения результатов: микромодульные и микроэлектромеханические системы, полупроводниковая электроника, карбидокремниевые волокна в композиционных материалах для применения в устройствах атомной энергетики.