ЛАБОРАТОРИЯ МАТЕРИАЛОВ И ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНОЙ РАДИОФОТОНИКИ

Цель: разработка отечественной технологии изготовления элементов интегральной радиофотоники на основе микроволноводов из нитрида кремния. Метод: работы включает отработку лабораторных и промышленных технологий осаждения, литографии и травления, а также разработку методов измерения оптических микроволноводов и интегральных схем на их основе. Результаты исследования: 1) проведен анализ современной научно-технической и патентной литературы в выбранной области исследования, выбраны и обоснованы методы и подходы для реализации поставленной цели; 2) разработана теория дисперсии собственных волн в интегральных оптических микроволноводах с учетом технологии их изготовления, разработана универсальная компьютерная программа, позволяющая проводить моделирование интегральных микроволноводов; 3) Разработан стенд для ввода/вывода излучения в оптические микроволноводы из нитрида кремния. Предположения о развитии объекта исследования: дальнейшее направление работы заключается в разработке лабораторной технологии синтеза планарных слоев нитрида кремния для микроволноводныхструктур; в разработка технологии литографии и травления для получения микро- и нано-волноводов из нитрида кремния; разработка набора инструментов проектирования топологий микро- и нано-волноводов из нитрида кремния, обеспечивающих требуемый уровень потерь; разработка экспериментальной установки для исследования оптических свойств.