ИКРБС
№ 223020100707-2

Лаборатория новых материалов для ИК фотоники

30.01.2023

Цель проекта – разработка фоточувствительных материалов на основе низкоразмерных гетероструктур, включая короткопериодные сверхрешетки Методология проведения работы – в рамках выполнения данной тематики Государственного задания проводились как экспериментальные, так и теоретические исследования. Рост слоёв производился с помощью молекулярно-лучевой эпитаксии. Методом дифракции быстрых электронов in situ производился контроль поверхности образцов. Полученные структуры были исследованы методами комбинационного рассеяния света и рентгеновской дифракции. Качество поверхности полученных образцов дополнительно контролировалось с помощью атомно-силовой микроскопии. Для оценки химического состояния поверхности использовалась рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Для расчёта зависимости электронных и дырочных состояний от периода InAs/GaSb сверхрешёток второго рода использовался стандартный подход, основанный на формализме огибающих функций в k·p теории и приближении эффективной массы. Результаты работы 1. Проведена модернизация установки молекулярно-лучевой эпитаксии Compact-21T. Для более точного контроля за температурой установлен односпектральный инфракрасный фокусируемый бесконтактные пирометр со спектральным диапазоном на 1.6 мкм. Для реализации управляемого легирования установлены эффузионные ячейки для испарения GaTe и Be. Выявлены и устранены неполадки контроллера NVC 6000 фирмы Riber, предназначенного для управления клапанами в ячейках Sb и As, заменена плата управляющего компьютера. В ячейки Ga, In, Sb и As проведена дозагрузка соответствующих материалов. В системе дифракции быстрых электронов была заменена электронная пушка. Для обеспечения непрерывной подачи жидкого азота на установку запущена азотная станция StirLIN–2, а также и проведено техническое обслуживание криогенераторов. 2. Проведен анализ имеющихся литературных данных по методикам подготовке поверхности подложек GaSb и InSb и отработаны различные методики очистки поверхности. 3. Отработана технология получения качественных буферных слоев GaSb на подготовленных подложках, подобраны оптимальные условия роста буферного слоя. Качество выращенных слоев буферных слоев и их высокое структурное совершенство подтверждены измерениями спектров комбинационного рассеяния света и рентгеновской дифрактометрией. С использованием атомно-силовой микроскопии определена шероховатость полученных буферных слоев, которая после отработки технологических режимов не превышающая 1.9 Å. 4. С использованием методов молекулярно-лучевой эпитаксии, дифракции быстрых электронов, атомно-силовой микроскопии и комбинационного рассеяния света проведены работы по поиску условий роста слоев InAs на GaSb и GaSb на InAs. В результате были найдены оптимальные условия для роста, и отработана методика формирования “InSb-подобных” интерфейсов на гетерограницах InAs на GaSb и GaSb на InAs. 5. Методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках GaSb (100) были получены InAs/GaSb сверхрешётки второго рода. Проведён подбор оптимальных параметров соотношения потоков для уменьшения количества дефектов. Определённый с помощью атомно-силовой микроскопии показатель средней квадратичной шероховатости удовлетворяет необходимым критериям значениям. Толщины слоев сверхрешетки, рассчитанные на основе аппроксимации рентгеновских кривых качания, совпадают с номинальными ростовыми параметрами. 6. На основе k∙p приближения разработан метод расчета электронного спектра сверхрешеток InAs/GaSb второго рода применяемых в качестве активного элемента матричных ИК фотодетекторов. В зависимости от периода и соотношения толщин слоев сверхрешетки рассчитана энергетическая диаграмма минизон для электронных и дырочных состояний. За отчетный период подготовлена 2 публикация в рецензируемом журнале индексируемых в системах WoS, Scopus или РИНЦ.
ГРНТИ
29.19.31 Полупроводники
29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
29.19.24 Электронная структура твердых тел
Ключевые слова
СВЕРХРЕШЁТКИ ВТОРОГО РОДА
ПОЛУПРОВОДНИКИ А3В5
ДЕТЕКТОРЫ СРЕДНЕГО ИК-ДИАПАЗОНА
МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ
РЕНТГЕНОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ
КОМБИНАЦИОННОЕ РАССЕЯНИЕ СВЕТА
АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
Детали

НИОКТР
Заказчик
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Исполнитель
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФИЗИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. П.Н. ЛЕБЕДЕВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
Бюджет
Средства федерального бюджета: 17 900 000 ₽
Похожие документы
Лаборатория новых материалов для ИК фотоники
0.985
ИКРБС
Лаборатория новых материалов для ИК фотоники
0.984
ИКРБС
Отчет о научно–исследовательской работе по теме «Светоизлучающие, фотодетекторные и фотопреобразовательные структуры ближнего ИК и видимого диапазонов на основе полупроводниковых наноструктур» (промежуточный) Этап 2 (2024 г.)
0.940
ИКРБС
Новые полупроводниковые материалы для квантовой информатики и телекоммуникаций (промежуточный, этап 2)
0.940
ИКРБС
ОТЧЕТ О НАУЧНО–ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОЙ РАБОТЕ по теме «Светоизлучающие, фотодетекторные и фотопреобразовательные структуры ближнего ИК и видимого диапазонов на основе полупроводниковых наноструктур», номер темы FSRM-2023-0007 (промежуточный) Этап 1 (2023 г.)
0.939
ИКРБС
Разработка научных основ эпитаксии наногетероструктур AIIIBV для нового поколения ИК-фотоприемных устройств, в том числе и на подложках кремния
0.939
ИКРБС
Новые полупроводниковые материалы для квантовой информатики и телекоммуникаций (промежуточный, этап 3)
0.938
ИКРБС
Гетероструктуры на основе материалов A3B5 для радиофотоники, СВЧ-электроники и фотоэлектроники
0.936
ИКРБС
Технологии и атомистическая диагностика твердотельных наногетеросистем
0.933
ИКРБС
Гетероструктуры на основе материалов A3B5 для радиофотоники, СВЧ-электроники и фотоэлектроники
0.933
ИКРБС