Научные основы электронно-лучевой технологии создания многокомпонентных диэлектрических материалов и покрытий с использованием форвакуумных плазменных источников электронов

Объектом исследования в рамках проекта являются электронно-лучевые и ионно- плазменные методы модификации диэлектрических материалов и покрытий. Целью работы является решение фундаментальной и актуальной научной проблемы создания многокомпонентных диэлектрических материалов и покрытий методами электронно- лучевого воздействия с использованием форвакуумных плазменных источников электронов. Основные направления исследований отчетного этапа 2021 года: - критический анализ современного состояния методов электронно-лучевой и ионно- плазменной модификации диэлектрических материалов и покрытий. Обоснование направлений и формулировка конкретных задач исследований с использованием форвакуумных плазменных источников электронов; - модернизация электронно-лучевого оборудования и отладка экспериментальной диагностики параметров плазмы, электронного пучка, а также выбор методов и подходов для экспресс-диагностики параметров и свойств модифицированных диэлектрических материалов и покрытий; - тестовые эксперименты по пучково-плазменному воздействию выбранных для исследования диэлектрических материалов и покрытий; - обобщение и анализ полученных результатов, подготовка публикаций и формулирование задач исследований следующего года За отчетный период по результатам проекта подано и зарегистрировано в системе ЕГИСУ НИОКРТ заявка на программу ЭВМ – № 2021668740 «Моделирование температурных полей по объему керамического образца с учетом влияния температуры на его теплофизические параметры». Заключен лицензионный договор со сторонней организацией о передаче неисключительного (исключительного) права на использование результатов интеллектуальной деятельности (правообладателем которых выступает ТУСУР): «Расчет диаметра электронного пучка по осциллограмме», договор №25/661 от 15 ноября 2021г., Общество с ограниченной ответственностью «Научно-производственная компания Томские электронные технологии». Запланированные в проекте работы по этапу 2021 года в полном объеме, установленные контрольные показатели достигнуты.