Отработка техпроцессов фотолитографии, плазмохимического травления, осаждения пленок, термообработок. Разработка эскизного маршрута изготовления библиотечных компонентов ФИС. Изготовление экспериментальных образцов пассивных компонентов ФИС. Разработка программы и методик исследовательских испытаний экспериментальных образцов библиотечных компонентов ФИС.

ВОЛНОВОД, МОДОВЫЙ КОНВЕРТЕР, ИЗГИБЫ ВОЛНОВОДОВ, ЛИНИЯ ЗАДЕРЖКИ, Y – РАЗВЕТВИТЕЛЬ, НАПРАВЛЕННЫЙ ОТВЕТВИТЕЛЬ, МНОГОМОДОВАЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИЯ, MMI, ПЕРЕСЕЧЕНИЕ ВОЛНОВОДОВ, КОЛЬЦЕВОЙ РЕЗОНАТОР, ВОЛНОВОДНАЯ БРЭГГОВСКАЯ РЕШЁТКА, ИНТЕРФЕРОМЕТР МАХА-ЦАНДЕРА, ДИФРАКЦИОННАЯ ВОЛНОВОДНАЯ РЕШЁТКА, AWG. Настоящий отчёт содержит научно-технические результаты выполнения второго этапа работы по теме: «Отработка техпроцессов фотолитографии, плазмохимического травления, осаждения пленок, термообработок. Разработка эскизного маршрута изготовления библиотечных компонентов ФИС. Изготовление экспериментальных образцов пассивных компонентов ФИС. Разработка программы и методик исследовательских испытаний экспериментальных образцов библиотечных компонентов ФИС.». Целями отчётного этапа, согласно календарному плану, являлись: отработка техпроцессов фотолитографии, плазмохимического травления, осаждения пленок, термообработок; разработка эскизного маршрута изготовления библиотечных компонентов фотонных интегральных схем (ФИС); изготовление экспериментальных образцов пассивных компонентов ФИС; подготовка программы методики измерений экспериментальных образцов. Таким образом, в процессе выполнения второго этапа работ были получены следующие результаты: – отработаны технологические режимы формирования нижнего кладдинга и верхнего кладдингов из SiO2; – отработаны технологические режимы формирования волноводного слоя SiON контрастностью в диапазоне 2...3%; – исследованы технологические режимы травления волноводного слоя через маски хрома, альфа-кремния и резиста. Наилучшие результаты были получены для использования маски фоторезиста; – разработана технология формирования волноводной канальной структуры на основе волноводов толщиной до 3мкм; – разработан эскизный маршрут изготовления элементов ФИС; – изготовлен фотошаблон для степпера Nikon NSR4425i для конечной подготовки экспериментальных образцов, а также сами экспериментальные образцы; – подготовлена программа методики измерений для последующего измерения необходимых параметров фотошаблона. Таким образом, все пункты этапа 2 по календарному плану были успешно выполнены. По полученным результатам проводится подготовка к этапу 3.