Нанесение термоэлектрических пленок. Тестирование макета тонкопленочного термоэлектрического датчика теплового потока. Исследование покрытий для шин разводки. Разработка лабораторной технологической инструкции изготовления термоэлектрического датчика теплового потока. Разработка и изготовление макета тонкопленочного термоэлектрического датчика теплового потока. Разработка программы и методики испытаний макета тонкопленочного термоэлектрического датчика теплового потока.

Объектом разработки является технология создания тонкопленочного термоэлектрического датчика теплового потока. Целью второго этапа НИОКР является формирование структуры макета датчика теплового потока и проведение тестовых технологических операций по формированию и исследованию тонкопленочных термоэлектрических покрытий, шин разводки, тонкопленочной электроизоляции. Нанесение термоэлектрических пленок проведено с помощью специализированного магнетронного распылительного устройства в сочетании с предварительной обработкой подложки ионным пучком. Проведено тестирование макета тонкопленочного термоэлектрического датчика теплового потока. Разработана «Технологическая инструкция для напыления термоэлектрических пленок из теллурида висмута N-типа и P-типа проводимости на кремниевые пластины». Изготовлен макет тонкопленочного термоэлектрического датчика теплового потока. Разработана программа и методика испытаний макета тонкопленочного термоэлектрического датчика теплового потока. При выполнении второго этапа подготовлены и зарегистрированы два результата интеллектуальной деятельности, оформленные как «Секреты производства» Все работы выполнены в соответствии с техническим заданием и календарным планом.