Разработка методов проектирования прецизионного оборудования для производства электронной компонентной базы (промежуточный, этап № 1)

В отчёте представлены результаты исследования первого этапа работы по проекту «Разработка методов проектирования прецизионного оборудования для производства электронной компонентной базы». Объектом исследования является оборудование для производства электронной компонентной базы, а именно: высокотехнологичное оборудование автоматического монтажа полупроводниковых кристаллов и компонентов для изготовления микросхем и многокристальных модулей (на стадии реализации); системы универсального мультипараметрического тестирования интегральных сборок, соединений, цифровых и цифро-аналоговых СБИС; интеллектуальные системы обнаружения и автоматического монтажа кристаллов, шовно-роликовой сварки и разварки проволочных соединений; автоматизированные интеллектуальные системы позиционирования, зондового параметрического и функционального контроля микросхем и электронных блоков; лазерное оборудование и технологии нового поколения раскроя пластин на кристаллы для производства радиоэлектронных и микроэлектронных ЭКБ, 3D-сборок и МЭМС; автоматизированные испытательные системы анализа температурных, климатических, электродинамических и электромеханических испытаний. Предметом исследования являются принципы разработки и проектирования таких систем, свойства такой системы и необходимые характеристики оборудования для реализации технологических процессов изготовления микросхем, структура и свойства системы управления и системы технического зрения. Цель научного исследования - формирование научно-технического и опытно-конструкторского задела для создания оборудования по изготовлению электронной компонентной базы. Задачами первого этапа НИР являются: 1 Анализ методов монтажа полупроводниковых кристаллов на подложки различных типов. Особое внимание уделяется формированию компаундной прослойки между полупроводниковым кристаллом и подложкой. 2 Анализ и выявление наиболее эффективных средств и алгоритмов систем технического зрения для распознавания объектов, таких как дефекты монтажа и позиционирования кристаллов.