Разработка и тестирование опытно образца системы аэрозольного напыления фоторезистов (заключительный)

Настоящий отчет содержит 72 страницу, 46 рисунков, 14 таблиц, 11 приложений, часть 2 из 2, использованных источников 17. Ключевые слова: система управления приводами, программное управление, спрей нанесение, аэрозольное напыление фоторезиста, аэрозольные фоторезисты, нанесение фоторезиста, фотолитография, микрополосковые платы, СВЧ платы, фотолитография, контроллер. В соответствии с подписанным договором на проведение НИОКР Договор 341ГС1ЦТС10-D5/80264 от 01.12.2022 в отчете представлены результаты первой и второй частей календарного плана по разработке системы аэрозольного напыления фоторезистов. Целью работы является разработка и тестирование опытного образец системы аэрозольного напыления фоторезистов для решения проблем разрывов фоторезистивной маски на заготовках микрополосковых плат с отверстиями и пазами, а также не полного покрытия стенок отверстий и пазов. Был разработан опытный образец и программное техническое решение, удовлетворяющее требования к массогабаритным характеристикам и технико-эксплуатационные характеристики, указанные в техническом задании. Была создана система аэрозольного напыления фоторезистов, которая обеспечивает количественные параметры, определяющие выполнение научно-технического задания, а именно: дистанция от аэрографа до заготовки от 3 см; рабочая площадь для напыления фоторезиста не менее 15 х 15 см; угол между аэрографом и рабочей площадкой имеет возможность фиксироваться в диапазоне не менее 30 и не более 90 градусов; разрешающая способность фоторезистивной маски от 2 мкм. Областью применения опытного образца являются производства микрополосковых плат. С экономической точки зрения применение результатов НИОКР позволит значительно снижает процент брака до 10 %, что снижает издержки этапа производства микрополосковых плат с пазами минимум в 5 раз. Экономический эффект оценивается в 50 %. Дальнейшее развитие проекта позволит значительно повысить скорость изготовления микрополосковых плат с пазами, а также снизить издержки изготовления, что обуславливает экономическую значимость проекта. На основе результатов НИОКР планируется создать коммерчески доступный продукт и принять участие в программе «Старт-2». В результате работы была получена интеллектуальная собственность на программу микроконтроллера и получено свидетельство о государственной программы для ЭВМ № 623101301402–5, под названием «Программное обеспечение управления опытным образцом системы аэрозольного напыления фоторезистов». В ходе проделанной работы были выполнены все этапы календарного плана в полной мере и выполнены все требования технического задания. Использование разработанной конструкции позволит достичь все заявленные численные показатели.