"РАЗРАБОТКА И ОСВОЕНИЕ В ПРОИЗВОДСТВЕ ГЕНЕРАТОРА ИЗОБРАЖЕНИЙ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ТОПОЛОГИЧЕСКИХ СТРУКТУР НА ФОТОШАБЛОНАХ В ОБЕСПЕЧЕНИЕ ПРОИЗВОДСТВА ИС С ТОПОЛОГИЧЕСКИМИ НОРМАМИ 90-65 НМ"

Целью работы на данном этапе выполнения ОКР является разработка опытного образца генератора изображений. Создан и испытан макет координатного стола на основе двухступенчатого привода с использованием линейных синхронных (бесщеточных) двигателей для грубого, и линейных магнитоэлектрических двигателей для точного привода, позволяющих перемещать стол с постоянной скоростью 37,5 мм/с с воспроизводимостью положения каретки от заданного менее 14 нм, при использовании координатно-измерительной системы на базе двухчастотного интерферометра с применением лазера 5517С фирмы Keysight Technologies. Подтверждена правильность выбранных конструкторских решений, соответствие основных параметров координатного стола параметрам, заданным в техническом задании. В ходе выполнения работ по первому этапу ОКР в соответствии с техническим заданием и календарным планом выполнены следующие работы: • проведено макетирование координатного стола; • разработан эскизный проект генератора; • определен состав генератора; • проведено технико-экономическое обоснование; • проведены патентные исследования; • разработан комплект КД на опытный образец генератора; • определены требования к программному обеспечению; • уточнены габаритные размеры и масса оптико-механического устройства (ОМУ) и комплекса управляющего (КУ); • определены конструктивные требования к материалам и изделиям; • разработана топология фотошаблона для аттестации координатной сетки стола, подготовлена управляющая информация для генерации изображения; • подготовлена управляющая информация для генерации изображения; • разработана топология тестового фотошаблона с проектными нормами 90-65нм. • проведено проектирование дизайна фотошаблона, подготовка управляющей информации для генерации изображения; • разработан технологический процесс определения параметров координатной сетки стола.