Разработка технического проекта. Изготовление и испытания макетов.

Объект разработки технического проекта – разработка однолучевого безмасочного электронно-лучевого литографа, предназначенного для формирования топологического рисунка сфокусированным электронным пучком на поверхности, покрытой электронно-чувствительным слоем (резистом). Цель данного этапа работы – разработка технического проекта электронно-лучевого литографа, разработка и изготовление макетов стола прецизионного, системы вакуумной и источника электронов. На этапе технического проекта были разработаны пояснительная записка и документация в объеме «Перечня (комплектности) документации технического проекта». Изготовлены и испытаны макеты стола прецизионного, системы вакуумной и источника электронов. Выполнено численное моделирование и расчет элементов электронно-оптической системы. На основе расчетов и испытаний макетов произведена разработка конструкции опытного образца электронно-лучевого литографа. Была проведена оценка технологичности конструкции, выполнен расчет стандартизации и унификации, а также расчеты показателей надежности. Проведена оценка технико-экономических показателей.