ГЕНЕРАЦИЯ ПУЧКОВ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ И ПОТОКОВ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ НА ОСНОВЕ ДУГОВОГО И ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДОВ, В ТОМ ЧИСЛЕ В ЭКСТРЕМАЛЬНЫХ УСЛОВИЯХ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ, ДЛЯ ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОЙ МОДИФИКАЦИИ МАТЕРИАЛОВ

Отчёт 184 с., 1 кн., 87 рисунков, 16 табл., 149 источн., 1 прил. ВАКУУМНЫЙ ДУГОВОЙ РАЗРЯД, ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ, СИЛЬНОТОЧНОЕ ИМПУЛЬСНОЕ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ВНЕШНЯЯ ИНЖЕКЦИЯ ЭЛЕКТРОНОВ, ИНДУКЦИОННО-СВЯЗАННАЯ ПЛАЗМА, ЗАЩИТНОЕ ПОДАВЛЕНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ДУГ, ВЫВОД ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА В АТМОСФЕРУ, ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ НАПЫЛЕНИЕ ЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ, НАНЕСЕНИЕ TiN–ПОКРЫТИЙ ДЛЯ УПРОЧНЕНИЯ СИЛУМИНА Объектами исследований являются разрядные системы, генерирующие плазму в вакуумном дуговом разряде, дуговых и тлеющих разрядах низкого давления, для исследования процессов их функционирования и эмиссии заряженных и нейтральных частиц. Основной целью работы является исследование процессов генерации пучков заряженных частиц и потоков низкотемпературной плазмы на основе дугового и тлеющего разрядов, в том числе в экстремальных условиях функционирования, для пучково-плазменной модификации материалов. Методами исследований являются физический эксперимент с применением современных источников питания и приборов диагностики, а также традиционных и уникальных методов исследования поверхности. В процессе выполнения работы получены важные научные результаты фундаментального значения, которые также обладают высоким потенциалом практического применения. Результаты исследований представлены в 31 публикации, в том числе в 18 статьях в периодических научных изданиях и 13 полнотекстовых докладах в трудах международных конференций, из них 5 статей опубликованы в журналах первого и второго квартиля. Результаты исследований докладывались и обсуждались на 16th International Conference «Gas Discharge Plasma and Their Applications», September 18-22, 2023, Ufa, Russia (XVI Международной конференции «Газоразрядная плазма и её применения», 18 – 22 сентября, г. Уфа); VII Международном Крейнделевском семинаре «Плазменная эмиссионная электроника» 31 июля - 06 августа 2023 года, Республика Бурятия, озеро Байкал, село Максимиха; 18th China-Russia-Belarus Plasma Perspective Technologies PPT Workshop, 14-15 November 10 - 12, 2023 (XIV Китайско-Российско-Белорусском симпозиуме «Перспективные плазменные технологии 2023», 10 – 12 ноября 2023, г. Томск).