Исследование и разработка способов изготовления интегральных оптических волноводов и элементов на их основе

Объектом исследования являются интегрально-оптические волноводы, элементы деления на основе фотонных интегральных схем и элементы ввода/вывода оптического излучения на основе тонкопленочных структур и волоконных линз. Целью работы на данном этапе являлась разработка конструкции пассивных элементов фотонных интегральных схем, устройств ввода/вывода и стыковки фотонных интегральных схем с оптическим волокном. Задачи исследования на данном этапе включали: - обзор практических приложений ФИС на основе тонких пленок нитрида кремния; - исследование и разработку конструкции оптических делителей на основе тонкопленочных волноводов; - исследование и разработку конструкции оптических ответвителей на основе тонкопленочных волноводов; - исследование и разработку конструкции оптического резонатора на основе тонкопленочных волноводов; - исследование и разработку элементов ввода-вывода оптического излучения в/из волноводов на основе тонкопленочных материалов; - исследование 3D модели гребенчатого волновода на основе ТНЛНИ; - обзор технологии напыления пленок ниобата лития методом высокочастотного магнетронного распыления. Полученные результаты будут использованы на следующем этапе при изготовлении экспериментальных образцов элементов ФИС, а также при исследовании характеристик элементов ФИС на основе тонкопленочных волноводов.