Функциональные слои на основе органических, полупроводниковых, MeO/Me/MeO гетероструктур и гибридных наночастиц для производства OLED микродисплеев «Базовая технология прозрачных проводящих электродов структуры MeO/Me/MeO устройств оптоэлектроники и фотоники» (промежуточный, этап № 3)

Объект исследования – функциональные слои на основе прозрачных фотосшиваемых материалов и гибридных наночастиц. Цель работы – разработка подхода получения фотоконверсионной пленки на основе гетероструктурных квантовых точек для микродисплейных применений. Результаты работы и их новизна – в рамках третьего этапа достижения результата «Разработка подхода получения фотоконверсионной пленки на основе гетероструктурных квантовых точек» проведены работы по адаптации процессов фотолитографии для формирования микроструктур наночастиц, в частности, квантовых точек. Высокая цветовая точность обеспечивается благодаря использованию нового прозрачного фотосшиваемого материала из оснований =CH2 и -SH. Данная работа основывалась на статье по применению квантовых точек в органических соединениях [A.D. Kurilov, D.N. Chausov, V. Osipova, D. Sagdeev, I.S. Chekulaev, R.N. Kucherov, V.V. Belyaev and Yu. G. Galyametdinov Concentration-dependent dielectric and electro-optical properties of composites based on nematic liquid crystals and CdS:Mn quantum dots // Soft Matter, 2023 19, 2110-2119 DOI https://doi.org/10.1039/D2SM01352E IF - 3.713 (Q1)], опубликованной во время выполнения прошлого этапа. Проведен комплекс экспериментальных исследований реологических, морфологических, люминесцентных и оптических свойств промышленного позитивного фоторезиста ФП-9120-1 и лабораторного образца негативного прозрачного фоторезиста, а также слоёв на их основе при различных режимах нанесения. На основе проведенного комплекса исследований разработан оптимизированный процесс нанесения фотоконверсионных слоёв прозрачного фоторезиста и синтезированных квантовых точек. Создан лабораторный образец фотоконверсионного покрытия для преобразования излучения синего органического светодиода в красный цвет. Разработана зондовая станция автоматизированного измерения оптических и электрических параметров, предназначенная для интеграции прецизионных методов измерений в научно-исследовательские и производственные процессы, связанные с многосерийными тонкопленочными структурами. Внедрена технологическая операция по формированию прозрачных токопроводящих электродов на основе многослойной структуры ITO/Ag/ITO с улучшенными электрооптическими характеристиками в технологический процесс создания OLED микродисплеев на АО «Центральный научно-исследовательский институт «Циклон»». Область применения – OLED микродисплеи, устройства оптоэлектроники и фотоники.