Отработка механизмов функционирования сервиса MPW

Объект исследования – методика прототипирования электронной компонентой базы на отечественных микроэлектронных производствах. Цель работы – совершенствование цикла экспериментального производства интегральных схем на базе отечественных микроэлектронных производств с помощью организации сервиса по системе Multi-Project Wafer (MPW) – расположению на одной пластине набора интегральных схем, разрабатываемых разными научными группами. В работе приведены результаты исследований в следующих областях: построение комплексных маршрутов полного цикла экспериментального изготовления интегральных схем для сервиса MPW; апробация работы сервиса MPW путем выполнения научно-технических проектов по производству прототипов интегральных схем на отечественных полупроводниковых производственных предприятиях; разработка СФ-блоков для производства интегральных схем на отечественных полупроводниковых производственных предприятиях; создания информационной системы сервиса MPW, позволяющей автоматизировать подготовку заявок на изготовление, включая обмен информацией о проектах.