Разработка улучшенных функциональных наноматериалов, методов диагностики и изготовления наноустройств для электроники

Работа посвящена разработке различных нанометрологических методов исследования наноматериалов и апробации в различных материаловедческих задачах. (1) Исследована фазовая структура и пьезоэлектрические характеристики в сегнетоэлектрической керамике на основе твердых растворов BiFeO3-(Ba,Sr)TiO3. Обнаружен эффект увеличения пьезоэлектрического отклика при добавлении концентрации компоненты SrTiO3 менее 20 %. (2) Разработана улучшенная методика измерения локальных петель пьезоэлектрического гистерезиса для материалов с полупроводниковыми и релаксорными свойствами. (3) Разработан метод получения плотных органических тонких плёнок с контролируемой толщиной и высокими пьезоэлектрическими характеристиками. (4) Разработан метод получения нанопластин CuO и исследованы их структурные и электрокаталитические характеристики. (5) Проведена отработка методов электронно-лучевой литографии, оптической литографии и селективного травления кремния. (6) Разработана технология получения и получены прототипы цельнометаллических зондовых датчиков из никеля. Разработанный метод имеет перспективы к масштабированию и пригоден для коммерческого изготовления цельнометаллических зондовых датчиков. Все целевые индикаторы этапа проекта выполнены.