Теоретические и экспериментальные исследования конструктивно-технологических методов создания кристалла МЭМС ИК-источника излучения

Объект исследования: конструктивно-технологические методы создания малоинерционных резистивных ИК-источников излучения в диапазоне длин волн от 1 до 20 мкм. Цель работы: проведение теоретических и экспериментальных исследований, направленных на разработку и изготовления макетов малоинерционных инфракрасных (ИК) источников излучения, создаваемых с применением технологий микроэлектроники и микроэлектромеханических систем (МЭМС). В рамках второго этапа выполнены следующие работы: проведены теоретические исследования конфигурации МЭМС ИК-источника излучения; созданы модели для оценки достижимости основных технических характеристик; проведены экспериментальные исследования технологического процесса формирования высокоэмиссионных пленок черного алюминия и определены характеристики осажденных слоев; опубликованы две статьи о полученных результатах в научно-технических журналах.