Нелокальные алгоритмы решения обратных задач распознавания в оптике слоистых покрытий

Представленный проект направлен на формирование нового подхода к решению всего класса обратных задач распознавания в оптике слоистых покрытий. Формирование такого подхода стало возможным благодаря существенному прогрессу в развитии экспериментальных средств сопровождения процессов напыления покрытий. В последние годы очень широко стали применятся различные методы оптического контроля этих процессов. При их использовании в режиме on-line получаются огромные массивы экспериментальных данных, из которых в настоящее время используются лишь небольшая часть. Основной целью проекта являлась разработка принципиально новых нелокальных алгоритмов решения обратных задач распознавания в оптике слоистых покрытий. Важнейшей особенностью этих алгоритмов является возможность использования всей доступной для решения обратных задач экспериментальной информации. Нелокальный характер разрабатываемых алгоритмов определяется тем, что при каждом их применении используется вся доступная на текущий момент экспериментальная информация, а не малая ее часть, как это делалось ранее (обычно это последние, только что измеренные, данные). За счет этого удается существенно повысить устойчивость решения обратных задач и расширить набор искомых технологических параметров, который может быть надежно определен в ходе решения соответствующих задач. При проведении исследований 2023 года рассмотрены такие важнейшие для практики типы покрытий, как высокоотражающие и просветляющие покрытия, отрезающие и полосовые фильтры, поляризаторы падающего излучения. При выборе методов контроля процесса напыления наиболее сложных типов оптических покрытий рассмотрены различные методы оптического контроля. Их преимущество состоит в том, что они контролируют не физические, а оптические толщины слоев покрытия, которые являются наиболее физически значимыми параметрами напыляемых покрытий. Методы оптического контроля основаны на измерении коэффициента отражения или пропускания покрытия в процессе его нанесения либо на одной длине волны контроля (монохроматический контроль), либо на сетке длин волн в определенной области спектра (широкополосный контроль). Все запланированные в отчетном периоде научные результаты достигнуты. Кроме того, получен ряд существенных дополнительных результатов. Как и планировалось, основным результатом выполнения проекта в 2023 году является подход к оптимизации выбора метода оптического контроля напыления покрытия заданного типа и соответствующих этому методу алгоритмов решения обратных задач распознавания. Разработанный подход отражен в трех публикациях текущего года, две из которых опубликованы в журнале из второго квартиля.