Изучение физико-химических основ создания биосовместимых покрытий диоксида титана и аморфного алмазоподобного углерода на поверхности титановых имплантатов

Объектом исследований являются пленочные покрытия диоксида титана (TiO2), синтезированные методом плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения и методом золь-гель, а также пленки алмазоподобного углерода (DLC), синтезированные методом плазмоактивированного химического осаждения из газовой фазы. Целью работы является изучение физико-химических основ синтеза биосовместимых нанопокрытий на основе диоксида титана и алмазоподобного углерода с заданными свойствами. В соответствии с календарным планом в рамках выполнения 2 этапа научно-исследовательской работы по отработке технологии синтеза биосовместимых покрытий диоксида титана методом атомно-слоевого осаждения были выполнены следующие работы: 1) Получены результаты исследования влияния условий и параметров синтеза метода термоактивированного атомно-слоевого осаждения (TALD) на скорость роста, оптические свойства, состав и микроструктуру пленок диоксида титана; 2) Определен температурный диапазон реализации режима самоограничения метода PEALD («окно PEALD») и получены результаты исследования влияния температуры процесса осаждения метода PEALD на скорость роста, микроструктуру, элементный состав, морфологию и оптические свойства пленок диоксида титана; 3) Определен температурный диапазон реализации режима самоограничения метода TALD («окно TALD») и получены результаты исследования влияния температуры процесса осаждения метода TALD на скорость роста, микроструктуру, элементный состав, морфологию и оптические свойства пленок диоксида титана; 4) Получены результаты исследования зависимости кристаллической структуры, фазового состава и морфологии покрытий диоксида титана от природы титанорганического прекурсора при их синтезе методом золь-гель; 5) Проведены исследования биологической совместимости покрытий диоксида титана, синтезированных методом золь-гель с использованием различных титаносодержащих прекурсоров; 6) Проведены исследования по подбору органического полимера для синтеза беспористых пленок диоксида титана методом золь-гель; 7) Проведена оценка влияния режимов прокаливания на шероховатость и морфологию поверхности пленок, полученных методом золь-гель; 8) На основе проведенных исследований опубликовано два тезиса в сборниках материалов международных конференций и подготовлена одна научная статья (подана в журнал); 9) Проведены исследования по определению диапазона реализации режимов роста пленок алмазоподобного углерода с ограничением по мощности плазмы и потоку газов методом плазмохимического осаждения из газовой фазы; 10) Получены результаты исследования влияния мощности ВЧ-плазмы и потока метана на скорость роста, оптические свойства, состав и микроструктуру пленок алмазоподобного углерода при их синтезе методом плазмохимического осаждения из газовой фазы; 11) Выполнены работы в рамках договора №49-УРНС-23 на выполнение научно-исследовательских работ по проекту «Разработка и доработка технологического регламента синтеза биосовместимого покрытия на основе диоксида титана методом атомно-слоевого осаждения на поверхности титановых имплантатов, нанесение покрытия на опытные образцы» с ООО «МИП ИМПЛАНТАТ» от 01 июля 2023 года.