Фундаментальные основы построения нано – и микросистем радиотехнических устройств селекции и генерации сигналов СВЧ диапазона на основе тонкопленочных пьезоэлектрических структур, формируемых плазмохимическими и ионно-плазменными методами

РЕФЕРАТ Отчет 160 с., 91 рис., 18 табл., 103 источн., 2 прил. ФИЛЬТР СВЧ, РЕЗОНАТОР НА ОАВ, МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, КИНЕТИКА ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ПРОЦЕССОВ, ФАЗОВЫЙ СОСТАВ, СТРУКТУРА ПЛЕНОК, ТЕКСТУРА ПЛЕНОК, ПЬЕЗОСВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ Объект исследования – взаимосвязь структурно-фазовых, элементных составов, морфологии поверхности, пьезоэлектрических свойств тонких пленок нитрида алюминия, а также пленок молибдена и алюминия как структуры брэгговского отражателя, обеспечивающего акустическую развязку резонатора с ситалловой подложкой, с технологическими режимами магнетронного формирования пленочных структур резонатора. Цель исследования – моделирование механизмов формирования и разработка технологий конструирования тонкопленочных материалов и пьезоэлектрических структур с заданными свойствами и нано- и микросистем на их основе для проектирования и изготовления элементной базы радиотехнических устройств селекции и генерации сигналов СВЧ-диапазона на объемных и поверхностных акустических волнах. Методы проведения работы – моделирование механизмов формирования, экспериментальные исследования характеристик конструкционных пленок структуры резона-тора, разработка технологий конструирования тонкопленочных материалов и пьезоэлектрических структур с заданными свойствами, а также нано- и микросистем на их основе для проектирования и изготовления элементной базы радиотехнических устройств селекции и генерации сигналов СВЧ-диапазона на объемных и поверхностных акустических волнах. Область применения результатов – изготовление элементной базы радиотехнических устройств селекции и генерации сигналов СВЧ-диапазона, в том числе для инфо-коммуникационных систем, предназначенных для работы в условиях Арктической зоны. Рекомендации по внедрению должны учитываться при разработке перспективных радиосистем на предприятиях промышленности.