Разработка технологических подходов и создание автоэмиссионного катодно-сеточного узла (КСУ) с пониженными значениями рабочих напряжений и малым перехватом электронного потока для электровакуумных устройств различного назначения

Ключевые слова: вакуумная электроника, углеродные наноматериалы, углеродные наностенки, углеродные нанотрубки, автоэмиссия, источник электронов, катодно-сеточный узел. Объектом исследования является разработка технологических подходов и изготовление экспериментальных образцов катодов и вытягивающих электродов для автоэмиссионного КСУ ЛБВ с пониженными значениями рабочих напряжений и малым перехватом электронного пучка. Целью работы является создание экспериментальных образцов КСУ и технологии изготовления катодов и вытягивающих электродов для автоэмиссионных КСУ, ориентированной на макро- и микроэлектровакуумные приборы, востребованные в реальном секторе экономики. Методы осуществления работы. В работе применяются методы научного анализа и прогнозирования, теоретических оценок и вычислений, экспериментального исследования наноструктур методами электронной микроскопии и поверхностного анализа методом атомно силовой микроскопии. В процессе выполнения НИОКТР получены следующие результаты: 1. Отработаны технологические подходы изготовления экспериментальных образцов катодов в соответствии с разработанным ранее маршрутом изготовления. 2. Изготовлены экспериментальные образцов катодов КСУ для ЛБВ в соответствии с разработанным ранее маршрутом изготовления. 3. Разработана методика испытания экспериментальных образцов катодов КСУ для ЛБВ. 4. Проведены испытания экспериментальных образцов катодов КСУ для ЛБВ в соответствии с разработанной методикой испытания. 5. Отработаны технологические подходы изготовления экспериментальных образцов вытягивающих электродов в соответствии с разработанным ранее маршрутом изготовления. 6. Изготовлены экспериментальные образцов вытягивающих электродов КСУ для ЛБВ в соответствии с разработанным ранее маршрутом изготовления. 7. Разработана методика испытания экспериментальных образцов вытягивающих электродов КСУ для ЛБВ. 8. Проведены испытания экспериментальных образцов вытягивающих электродов КСУ для ЛБВ в соответствии с разработанной методикой испытания. 9. Проведена корректировка ЭКД и маршрута изготовления сеточного узла КСУ ЛБВ. Работа, выполненная на втором этапе проекта, легла в основу научно-технологического задела следующих этапов НИР и позволяет перейти к следующему этапу НИР: разработке и изготовлению КСУ ЛБВ.