Фундаментальные основы конструирования новых тонкопленочных пьезоматериалов для нано и микросистем, используемых в радиотехнических устройствах селекции и генерации сигналов СВЧ диапазона

РЕФЕРАТ Отчет 47 с., 23 рис., 7 табл., 2 источн., 2 прил. ФИЛЬТР СВЧ, РЕЗОНАТОР НА ОАВ, МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ФАЗОВЫЙ СОСТАВ, СТРУКТУРА ПЛЕНОК, ТЕКСТУРА ПЛЕНОК, ПЬЕЗОСВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ, Объект исследования – взаимосвязь характеристик ОАВ - резонаторов на основе пленок нитрида алюминия с технологическими условиями магнетронного формирования структуры резонатора с брэгговским отражателем. Целью исследования являлось моделирование механизмов формирования и разработка технологий формирования тонкопленочных материалов и пьезоэлектрических структур с заданными свойствами и конструирование нано – и микросистем на их основе для проектирования и изготовления элементной базы радиотехнических устройств селекции и генерации сигналов СВЧ (1 - 20 ГГц) диапазона на объемных акустических волнах (ОАВ). Дальнейшее развитие устройств систем связи и передачи данных определяется в первую очередь расширением их частотного диапазона в сторону сверхвысоких частот (СВЧ) в диапазоне 1 - 20 ГГц и связано с совершенствованием существующих и созданием новых функциональных элементов, осуществляющих частотную селекцию и генерацию сигналов. Современные технические решения в этой области основываются на использовании комбинации результатов фундаментальных исследований и технологических достижений в области материаловедения, пьезоэлектроники и технологий производства нано и микросистемной техники. Методы проведения работы – моделирование и конструирование новых тонкопленочных материалов на основе нитрида алюминия (AlN) с использованием метода реактивного магнетронного формирования пленок. Современные технические решения в этой области основываются на использовании комбинации результатов фундаментальных исследований и технологических достижений в области материаловедения, пьезоэлектроники и технологий производства нано и микросистемной техники: 1. Моделирование процессов формирования пленок AlN методом реактивного магнетронного распыления. 2. Исследование параметров и свойств пленок AlN, Al, Мо (текстура, фазовый и элементный состав, морфология поверхности, механические напряжения, оптические, электрофизические и механические свойства) методами рентгенофазового анализа (РФА), рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС), атомносиловой микроскопии (АСМ), а также эллипсометрическими и интерферометрическими методами. 3.Разработка конструкций и технологии изготовления микроэлектронных резонаторов на ОАВ трех типов с пьезоэлектрическим слоем нитрида алюминия для исследования нелинейных эффектов в данных резонаторах. 4. Исследование влияния нелинейных эффектов на АЧХ и ФЧХ резонаторов на ОАВ и на частоты последовательного и параллельного резонансов. Область применения результатов – изготовление элементной базы радиотехнических устройств селекции и генерации сигналов СВЧ-диапазона. Рекомендации по внедрению должны учитываться при разработке перспективных радиосистем на предприятиях промышленности.