Разработка опытных образцов МЭМС-датчиков для медицинских устройств мониторинга состояния здоровья человека (заключительный)

Отчет 206 стр., 130 рис., 16 табл., 6 источников, 23 прил. МЭМС-СЕНСОР, ДАТЧИК ПОТОКА ГАЗА, ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, МЕДИЦИНСКИЕ ДАТЧИКИ, РАСХОДОМЕР, ТОНОКОПЛЕНОЧНАЯ МЕМБРАНА Целью выполнения проекта является создание опытных образцов МЭМС-датчиков для медицинских устройств мониторинга состояния здоровья человека. В рамках проекта разрабатываются три вида миниатюрных датчиков: датчик потока газов, датчик давления и датчик температуры. Предлагаемые в проекте датчики на тепловом принципе действия ориентированы на использование в медицинском оборудовании, предназначенном для проведения диагностики, терапии и реабилитации здоровья человека, в частности, в анестезиологическом оборудовании (в т.ч. аппаратах ИВЛ), спирометрах, пикфлоуметрах, трекерах здоровья, контактных и бесконтактных термометрах, приборах для измерения давления, инсулиновых помпах и т.д. Разрабатываемые датчики (потока газов, давления и температуры) являются по сути основными датчиками, которые применяются в медицинских приборах для контроля здоровья человека. В ходе выполнения НИОКР в рамках гранта № 32ГРРЭС14/71680 от 22.12.2021 были выполнены следующие работы: разработан эскизный проект на датчик потока газов; разработан эскизный проект на датчик давления; разработан эскизный проект на датчик температуры; разработана топология кристаллов чувствительных элементов датчиков; разработан технологический маршрут формирования тестовых структур чувствительных элементов датчиков; отработан режим технологических операций формирования тестовых структур чувствительных элементов датчиков; проведены исследования тестовых структур чувствительных элементов датчиков; разработан технический проект на датчик потока газов; разработан технический проект на датчик давления; разработан технический проект на датчик температуры; разработана технологическая документация изготовления макетов кристаллов чувствительных элементов датчиков; проведена отработка режимов технологических операций изготовления макетов кристаллов чувствительных элементов датчиков; проведено исследование макетов кристаллов чувствительных элементов датчиков; разработана РКД и РТД на датчик потока газов; разработана РКД и РТД на датчик давления; разработана РКД и РТД на датчик температуры; проведена доработка топологии кристаллов датчиков; изготовлены опытные образцы кристаллов датчиков; проведена отработка режимов технологических операций корпусирования опытных образцов кристаллов датчиков; разработана программа и методики испытаний опытных образцов датчиков; изготовлены опытные образцы датчиков; разработана и изготовлена оснастка для проведения испытаний опытных образцов датчиков; проведены испытания опытных образцов датчиков; проведена доработка опытных образцов датчиков по результатам испытаний; проведена корректировка РКД и РТД с присвоением литеры О; разработаны ТУ на датчики. Работы в рамках НИОКР выполнены успешно, своевременно и в полном объеме. Результаты работ полностью отвечают требованиям Технического задания и Календарного плана. Выполненные работы позволят обеспечить создание отечественных МЭМС-датчиков для медицинских устройств мониторинга состояния здоровья человека.