Электронно-микроскопические исследования структуры и сегнетоэлектрических свойств тонких плёнок твердых растворов цирконата-титаната свинца в области морфотропной фазовой границы, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления, для устройств микроэлектромеханики

Актуальность исследования: тонкопленочные сегнетоэлектрические структуры являются перспективными материалами для современной микро и нано электромеханики. В связи с этим исследование структур подобного рода являются достаточно актуальными. Целью настоящего исследования является изучение электрофизических свойств сферолитовых структур сформированных на основе цирконата титаната свинца. Объект исследования являются тонкопленочные сегенетоэлектрические сферолитовые структуры на основе цирконата титаната свинца. Предмет исследования: определение механизмов формирования сферолитовых структур на основе цирконата титаната свинца и электрофизических характеристик. Задачи исследования: - совершенствования технологии формирования тонких поликристаллических слоев твердых растворов цирконата-титаната свинца (ЦТС), отличающихся сферолитовой микроструктурой, состав которых соответствуют области морфотропной фазовой границы, методом высокочастотного магнетронного осаждения на практически важных подложечных материалах, при вариации технологических параметров их формирования, - изучения особенностей сферолитовой микроструктуры и кристаллической структуры тонких пленок ЦТС с использованием методов растровой электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии, рентгеноструктурного анализа, - изучения полярных характеристик (спонтанной и остаточной поляризации, внутреннего поля) методами диэлектрической диагностики и силовой микроскопии пьезоэлектрического отклика в сформированных пленках, - выявления связи технологических параметров, кристаллической структуры, микроструктуры и полярных свойств исследуемых сферолитовых пленок, - анализа полученных экспериментальных результатов и оптимизация технологии формирования и получения устойчивых униполярных тонких пленок ЦТС. Методы исследования: электронная микроскопия, атомно-силовая микроскопия, рентгеноструктурный анализ, методика анализа второй оптической гармоники, оптическая\ микроскопия, диэлектрическая\ спектроскопия.