Технологии слоев органических и неорганических материалов со сложным рельефом поверхности с заданными электрическими и оптическими характеристиками для перспективных элементов микро- и наноэлектронных систем (заключительный)

Получен ряд подложек с прозрачными токопроводящими слоями оксида цинка различной степени пористости, а также с гетероструктурами на основе Оксид/Металл/Оксид (OMO) для создания на их основе технологичной управляемой плоской жидкокристаллической ячейки с массивом рефрактивных жидкокристаллических структур (жидкокристаллических линз). В ходе исследования было синтезировано более 70 лабораторных образцов прозрачных токопроводящих поверхностей с различной морфологией в зависимости от толщины и метода синтеза. Синтез образцов основывался на моделировании структурных данных с применением теории Френеля. Для анализа полученных гетероструктур были использованы методы оптической спектроскопии, просвечивающей электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии, а также метод измерения эффекта Холла с целью определения типа, концентрации и подвижности носителей заряда. Проведенные измерения позволили определить концентрацию носителей заряда, их подвижность, а также оценить уровни шероховатости поверхности и рост токопроводящих пиков, что позволило проанализировать негативные эффекты синтеза пленок. Использование слоев OMO позволило добиться оптимальных значений светопропускания и проводимости за счет снижения отражения благодаря эффекту просветления и скачкообразному росту концентрации носителей заряда. Выполненный комплекс исследований создает научный и технологический задел для формирования альтернативных прозрачных электродов на основе OMO структур для создания на их основе технологичных управляемых плоских жидкокристаллических элементов с массивом рефрактивных жидкокристаллических структур (жидкокристаллических линз).