Исследование и разработка методов синтеза углеродных наноматериалов и принципов формирования элементов автоэмиссионной наноэлектроники на их основе

В ходе проекта разработаны конструктивные решения по формированию планарных элементов автоэмиссионной наноэлектроники как на основе единичных катодов, так и их матриц. На основании разработанных конструкций разработаны технологические маршруты формирования элементов на основе использования метода локального травления фокусированным ионным пучком. Сформированы экспериментальные образцы автоэлектронных эмиттеров на основе различных материалов. С использованием методик зондового тестирования исследованы их эмиссионные характеристики.