Развитие физико-технических основ построения и технологии формирования нано- и микросистем на основе пленочных и монокристаллических пьезоэлектрических материалов для элементной базы радиоэлектроники, микросистемной техники и приборостроения

Отчет 101 с., 59 рис., 11 табл., 67 источн., 2 прил. ФИЛЬТР СВЧ, РЕЗОНАТОР НА ОАВ, МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, КИНЕТИКА ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ПРОЦЕССОВ, ФАЗОВЫЙ СОСТАВ, СТРУКТУРА ПЛЕНОК, ТЕКСТУРА ПЛЕНОК, ПЬЕЗОСВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ Объект исследования – взаимосвязь структурно-фазовых, элементных составов, морфологии поверхности, пьезоэлектрических свойств тонких пленок нитрида алюми-ния, а также пленок молибдена и алюминия как структуры брэгговского отражателя, обеспечивающего акустическую развязку резонатора с ситалловой подложкой, с техноло-гическими режимами магнетронного формирования пленочных структур резонаторов для устройств генерации и частотной селекции сигналов и сенсоров. Цель НИР – совершенствование технологии получения, исследование механизмов формирования и свойств наноструктурированных пьезоэлектрических пленочных слоев на основе нитрида алюминия, а также создание и исследование на их основе и основе монокристаллических пьезоэлектрических материалов нано- и микроструктур для устройств генерации и частотной селекции сигналов и сенсоров с улучшенными характе-ристиками. Методы проведения работы – моделирование механизмов формирования, экспе-риментальные исследования характеристик пленок, формирующих структуру резонатора, и разработка технологий конструирования тонкопленочных материалов и пьезоэлектри-ческих структур с заданными свойствами, а также нано- и микросистем на их основе для проектирования и изготовления элементной базы радиотехнических устройств селекции и генерации сигналов СВЧ-диапазона на объемных и поверхностных акустических вол-нах. Область применения результатов – изготовление элементной базы радиотехниче-ских устройств селекции и генерации сигналов СВЧ-диапазона, в том числе для инфо-коммуникационных систем, предназначенных для работы в условиях Арктической зоны. Рекомендации по внедрению должны учитываться при разработке перспективных радиосистем на предприятиях промышленности.